| A63.7069 सॉफ्टवेयर मुख्य कार्य | ||
| उच्च दबाव विनियमन | लंबवत रेखा स्कैन | संभावित बदलाव विनियमन |
| फिलामेंट वर्तमान विनियमन | कंडेनसर समायोजन | बहु पैमाने माप |
| दृष्टिवैषम्य समायोजन | विद्युत से केंद्रीय समायोजन | स्वचालित चमक / कंट्रास्ट |
| चमक समायोजन | उद्देश्य लेंस समायोजन | ऑटो फोकस |
| कंट्रास्ट समायोजन | फोटो पूर्वावलोकन | स्वचालित दृष्टिवैषम्य उन्मूलन |
| आवर्धन समायोजन | सक्रिय शासक | स्वचालित फिलामेंट समायोजन |
| चयनित क्षेत्र स्कैनिंग मोड | 4 स्कैनिंग गति सेटिंग | मापदंडों का प्रबंधन |
| प्वाइंट स्कैनिंग मोड | उद्देश्य लेंस उलटा | इमेज स्नैपशॉट, इमेज फ्रीजिंग |
| सतह स्कैनिंग | संघनित्र उत्क्रमण | एक कुंजी त्वरित दृश्य |
| क्षैतिज रेखा स्कैनिंग | इलेक्ट्रिक रोटेशन समायोजन | |
| सेम | ए63.7069 | ए63.7080 | ए63.7081 |
| संकल्प | 3एनएम @ 30 केवी (एसई) 6एनएम @ 30 केवी (बीएसई) |
1.5nm@30KV (एसई) 3एनएम @ 30 केवी (बीएसई) |
1.0 एनएम @ 30 केवी (एसई) 3.0nm@1KV (एसई) 2.5एनएम@30केवी (बीएसई) |
| बढ़ाई | 8x ~ 300000x नकारात्मक सही आवर्धन | 8x ~ 800000x नकारात्मक सही आवर्धन | 6x ~ 1000000x नकारात्मक सही आवर्धन |
| इलेक्ट्रॉन गन | पूर्व केंद्रित टंगस्टन फिलामेंट कार्ट्रिज | शोट्की फील्ड एमिशन गन | शोट्की फील्ड एमिशन गन |
| वोल्टेज | त्वरित वोल्टेज 0 ~ 30KV, निरंतर समायोज्य, चरण 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV समायोजित करें | ||
| जल्दी देखो | एक कुंजी त्वरित दृश्य छवि समारोह | एन/ए | एन/ए |
| लेंस सिस्टम | तीन-स्तरीय विद्युतचुंबकीय पतला लेंस | बहु-स्तरीय विद्युतचुंबकीय पतला लेंस | |
| छेद | 3 मोलिब्डेनम उद्देश्य एपर्चर, वैक्यूम सिस्टम के बाहर एडजस्टेबल, एपर्चर बदलने के उद्देश्य को अलग करने की आवश्यकता नहीं है | ||
| वैक्यूम प्रणाली | 1 टर्बो आण्विक पंप 1 यांत्रिक पंप नमूना कक्ष वैक्यूम> 2.6E-3Pa इलेक्ट्रॉन गन रूम वैक्यूम> 2.6E-3Pa पूरी तरह से ऑटो वैक्यूम नियंत्रण वैक्यूम इंटरलॉक फंक्शन वैकल्पिक मॉडल: A63.7069-LV 1 टर्बो आण्विक पंप 2यांत्रिक पंप नमूना कक्ष वैक्यूम> 2.6E-3Pa इलेक्ट्रॉन गन रूम वैक्यूम> 2.6E-3Pa पूरी तरह से ऑटो वैक्यूम नियंत्रण वैक्यूम इंटरलॉक फंक्शन कम वैक्यूमबीएसई (एलवी) के लिए 90 सेकंड में त्वरित स्विच के लिए रेंज 10 ~ 270 पीए |
1 आयन पंप सेट 1 टर्बो आण्विक पंप 1 यांत्रिक पंप नमूना कक्ष वैक्यूम> 6E-4Pa इलेक्ट्रॉन गन रूम वैक्यूम> 2E-7 Pa पूरी तरह से ऑटो वैक्यूम नियंत्रण वैक्यूम इंटरलॉक फंक्शन |
1 स्पटर आयन पंप 1 गेट्टर आयन कंपाउंड पंप 1 टर्बो आण्विक पंप 1 यांत्रिक पंप नमूना कक्ष वैक्यूम> 6E-4Pa इलेक्ट्रॉन गन रूम वैक्यूम> 2E-7 Pa पूरी तरह से ऑटो वैक्यूम नियंत्रण वैक्यूम इंटरलॉक फंक्शन |
| डिटेक्टर | से: उच्च वैक्यूम माध्यमिक इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (डिटेक्टर सुरक्षा के साथ) | से: उच्च वैक्यूम माध्यमिक इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (डिटेक्टर सुरक्षा के साथ) | से: उच्च वैक्यूम माध्यमिक इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (डिटेक्टर सुरक्षा के साथ) |
| बीएसई: सेमीकंडक्टर 4 सेगमेंटेशन बैक स्कैटरिंग डिटेक्टर वैकल्पिक मॉडल: A63.7069-LV बीएसई (एलवी): सेमीकंडक्टर 4 सेगमेंटेशन बैक स्कैटरिंग डिटेक्टर |
वैकल्पिक | वैकल्पिक | |
| सीसीडी:इन्फ्रारेड सीसीडी कैमरा | सीसीडी:इन्फ्रारेड सीसीडी कैमरा | सीसीडी:इन्फ्रारेड सीसीडी कैमरा | |
| पोर्ट बढ़ाएँ | 2 नमूना कक्ष पर बंदरगाहों का विस्तार करें ईडीएस, बीएसडी, डब्ल्यूडीएस आदि। |
4 नमूना कक्ष पर बंदरगाहों का विस्तार करें बीएसई, ईडीएस, बीएसडी, डब्ल्यूडीएस आदि। |
4 नमूना कक्ष पर बंदरगाहों का विस्तार करें बीएसई, ईडीएस, बीएसडी, डब्ल्यूडीएस आदि। |
| नमूना चरण | 5 अक्ष चरण, 4ऑटो+1नियमावलीनियंत्रण यात्रा रेंज: एक्स = 70 मिमी, वाई = 50 मिमी, जेड = 45 मिमी, आर=360°, टी=-5°~+90°(मैनुअल) टच अलर्ट और स्टॉप फंक्शन |
5 अक्षऑटो मध्यममंच यात्रा रेंज: एक्स = 80 मिमी, वाई = 50 मिमी, जेड = 30 मिमी, आर=360°, टी=-5°~+70° टच अलर्ट और स्टॉप फंक्शन वैकल्पिक मॉडल: ए 63.7080-एम5 अक्षनियमावलीमंच ए 63.7080-एल5 अक्षऑटो विशालमंच |
5 अक्षऑटो विशालमंच यात्रा रेंज: एक्स = 150 मिमी, वाई = 150 मिमी, जेड = 60 मिमी, आर=360°, टी=-5°~+70° टच अलर्ट और स्टॉप फंक्शन |
| अधिकतम नमूना | दीया.175mm, ऊंचाई 35mm | दीया.175mm, ऊंचाई 20mm | दीया.340 मिमी, ऊँचाई 50 मिमी |
| छवि प्रणाली | वास्तविक स्थिर छवि अधिकतम संकल्प 4096x4096 पिक्सेल, छवि फ़ाइल प्रारूप: बीएमपी (डिफ़ॉल्ट), जीआईएफ, जेपीजी, पीएनजी, टीआईएफ |
वास्तविक स्थिर छवि अधिकतम संकल्प 16384x16384 पिक्सेल, छवि फ़ाइल प्रारूप: टीआईएफ (डिफ़ॉल्ट), बीएमपी, जीआईएफ, जेपीजी, पीएनजी वीडियो: ऑटो रिकॉर्ड डिजिटल .AVI वीडियो |
वास्तविक स्थिर छवि अधिकतम संकल्प 16384x16384 पिक्सेल, छवि फ़ाइल प्रारूप: टीआईएफ (डिफ़ॉल्ट), बीएमपी, जीआईएफ, जेपीजी, पीएनजी वीडियो: ऑटो रिकॉर्ड डिजिटल .AVI वीडियो |
| कंप्यूटर सॉफ्टवेयर | पीसी वर्क स्टेशन विन 10 सिस्टम, प्रोफेशनल इमेज एनालिसिस सॉफ्टवेयर के साथ पूरे SEM माइक्रोस्कोप ऑपरेशन को पूरी तरह से नियंत्रित करने के लिए, कंप्यूटर विशिष्टता इंटर I5 3.2GHz, 4G मेमोरी, 24 "IPS LCD मॉनिटर, 500G हार्ड डिस्क, माउस, कीबोर्ड से कम नहीं है। | ||
| फोटो प्रदर्शन | छवि स्तर समृद्ध और सावधानीपूर्वक है, वास्तविक समय आवर्धन, शासक, वोल्टेज, ग्रे वक्र दिखा रहा है | ||
| आयाम & वज़न |
माइक्रोस्कोप बॉडी 800x800x1850mm कार्य तालिका 1340x850x740 मिमी कुल वजन |
माइक्रोस्कोप बॉडी 800x800x1480mm कार्य तालिका 1340x850x740 मिमी कुल वजन |
माइक्रोस्कोप बॉडी 1000x1000x1730mm कार्य तालिका 1330x850x740mm कुल वजन 550 किग्रा |
| वैकल्पिक सहायक उपकरण | |||
| वैकल्पिक सहायक उपकरण | ए50.7002ईडीएस एनर्जी डिस्पर्सिव एक्स-रे स्पेक्ट्रोमीटर ए50.7011आयन स्पटरिंग कोटर |
ए50.7001बीएसई बैक स्कैटरिंग इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर ए50.7002ईडीएस एनर्जी डिस्पर्सिव एक्स-रे स्पेक्ट्रोमीटर ए50.7011आयन स्पटरिंग कोटर ए50.7030मोटराइज कंट्रोल पैनल |
ए50.7001बीएसई बैक स्कैटरिंग इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर ए50.7002ईडीएस एनर्जी डिस्पर्सिव एक्स-रे स्पेक्ट्रोमीटर ए50.7011आयन स्पटरिंग कोटर ए50.7030मोटराइज कंट्रोल पैनल |
| ए50.7001 | बीएसई डिटेक्टर | सेमीकंडक्टर फोर सेगमेंट बैक स्कैटरिंग डिटेक्टर; सामग्री ए + बी में उपलब्ध, आकृति विज्ञान जानकारी एबी; उपलब्ध नमूना सोना स्पटरिंग के बिना निरीक्षण करें; सीधे ग्रेस्केल मानचित्र से निरीक्षण अशुद्धता और वितरण में उपलब्ध है। |
| ए50.7002 | ईडीएस (एक्स रे डिटेक्टर) | प्रकाश तत्व विश्लेषण के लिए कम ऊर्जा वाले एक्स-रे ट्रांसमिशन को अनुकूलित करने के लिए सिलिकॉन नाइट्राइड (Si3N4) विंडो; उत्कृष्ट संकल्प और उनके उन्नत कम शोर वाले इलेक्ट्रॉनिक्स उत्कृष्ट थ्रूपुट प्रदर्शन प्रदान करते हैं; छोटा पदचिह्न आदर्श ज्यामिति और आटा संग्रह की स्थिति सुनिश्चित करने के लिए लचीलापन प्रदान करता है; डिटेक्टरों में एक 30mm2 चिप होती है। |
| ए50.7003 | EBSD (इलेक्ट्रॉन बीम पश्च प्रकीर्ण विवर्तन) | उपयोगकर्ता क्रिस्टल अभिविन्यास, क्रिस्टल चरण और सामग्री की सूक्ष्म बनावट और संबंधित सामग्री प्रदर्शन, आदि का विश्लेषण कर सकता है। EBSD कैमरा सेटिंग्स का स्वचालित अनुकूलन डेटा संग्रह के दौरान, अधिकतम जानकारी प्राप्त करने के लिए इंटरैक्टिव रीयल-टाइम विश्लेषण करें सभी डेटा को टाइम टैग के साथ ब्रांडेड किया गया था, जिसे किसी भी समय देखा जा सकता है उच्च संकल्प 1392 x 1040 x 12 स्कैनिंग और सूचकांक गति: 198 अंक / सेकंड, मानक के रूप में नी के साथ, 2 ~ 5 एनए की स्थिति के तहत, यह सूचकांक दर ≥99% सुनिश्चित कर सकता है; 100pA . पर 5kV के लो बीम करंट और लो वोल्टेज की स्थिति में अच्छी तरह से काम करता है अभिविन्यास मापने सटीकता: 0.1 डिग्री से बेहतर ट्रिपलेक्स इंडेक्स सिस्टम का उपयोग करना: सिंगल बैंड परिभाषा पर भरोसा करने की आवश्यकता नहीं है, खराब पैटर्न गुणवत्ता का आसान अनुक्रमण समर्पित डेटाबेस: इलेक्ट्रॉन विवर्तन द्वारा प्राप्त ईबीएसडी विशेष डेटाबेस:> 400 चरण संरचना सूचकांक क्षमता: यह स्वचालित रूप से 7 क्रिस्टल सिस्टम की सभी क्रिस्टल सामग्री को अनुक्रमित कर सकता है। उन्नत विकल्पों में लोचदार कठोरता (लोचदार कठोरता), टेलर (टेलर) कारक, श्मिट (श्मिट) कारक आदि की गणना शामिल है। |
| ए50.7010 | लेपन मशीन | ग्लास प्रोटेक्टिंग शेल: ∮250mm;340 मिमी ऊंचा; ग्लास प्रसंस्करण कक्ष: ∮88 मिमी;140 मिमी ऊंचा, ∮88 मिमी;57 मिमी ऊंचा; नमूना चरण का आकार: 40 मिमी (अधिकतम); वैक्यूम सिस्टम: अणु पंप और मैकेनिकल पंप; वैक्यूम डिटेक्शन: पिरानी गेज; वैक्यूम: 2 एक्स 10-3 पा से बेहतर; वैक्यूम संरक्षण: सूक्ष्म मुद्रास्फीति वाल्व के साथ 20 पा; नमूना आंदोलन: विमान रोटेशन, झुकाव पूर्वसर्ग। |
| ए50.7011 | आयन स्पटरिंग कोटर | ग्लास प्रसंस्करण कक्ष: 100 मिमी;130 मिमी ऊंचा; नमूना चरण का आकार: 40 मिमी (6 नमूना कप पकड़ो); स्वर्ण लक्ष्य आकार: ∮58 मिमी * 0.12 मिमी (मोटाई); वैक्यूम डिटेक्शन: पिरानी गेज; वैक्यूम संरक्षण: सूक्ष्म मुद्रास्फीति वाल्व के साथ 20 पा; मध्यम गैस: आर्गन या वायु आर्गन गैस के साथ विशेष वायु प्रवेश और सूक्ष्मदर्शी में गैस विनियमन। |
| ए50.7012 | आर्गन आयन स्पटरिंग कोटर | नमूना उच्च वैक्यूम के तहत कार्बन और सोने के साथ चढ़ाया गया था; घूर्णन योग्य नमूना तालिका, वर्दी कोटिंग, कण आकार लगभग 3-5 एनएम; लक्ष्य सामग्री का कोई चयन नहीं, नमूनों को कोई नुकसान नहीं; आयन सफाई और आयन पतलेपन के कार्यों को महसूस किया जा सकता है। |
| ए50.7013 | क्रिटिकल पॉइंट ड्रायर | भीतरी व्यास: 82mm, भीतरी लंबाई: 82mm; दबाव सीमा: 0-2000psi; तापमान रेंज: 0 डिग्री -50 डिग्री सेल्सियस (32 डिग्री -122 डिग्री फारेनहाइट) |
| ए50.7014 | इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी | स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के आधार पर, एक उपन्यास नैनो-एक्सपोज़र सिस्टम विकसित किया गया था; मॉडिफिकटन ने नैनोस्केल लाइन चौड़ाई छवि बनाने के लिए सभी सेम कार्यों को रखा है; संशोधित ईबीएल प्रणाली व्यापक रूप से माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, क्वांटन उपकरणों, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक सिस्टम आर एंड डी में लागू होती है। |
| A63.7069 मानक उपभोग्य पोशाक | |||
| 1 | टंगस्टन फिलामेंट | पूर्व-केंद्रित, आयातित | 1 बॉक्स (5 पीसी) |
| 2 | नमूना कप | दीया.13 मिमी | 5 पीसी |
| 3 | नमूना कप | दीया.32mm | 5 पीसी |
| 4 | कार्बन डबल-पक्षीय प्रवाहकीय टेप | 6 मिमी | 1 पैकेज |
| 5 | वैक्यूम ग्रीस | 10 पीसी | |
| 6 | गंजा कपड़ा | 1 ट्यूब | |
| 7 | पॉलिशिंग पेस्ट | 1 पीसी | |
| 8 | नमूना बॉक्स | 2 बैग | |
| 9 | रुई की पट्टी | 1 पीसी | |
| 10 | तेल धुंध फ़िल्टर | 1 पीसी | |
| A63.7069 मानक उपकरण और पार्ट्स आउटफिट | |||
| 1 | भीतरी षट्भुज स्पैनर | 1.5 मिमी ~ 10 मिमी | 1 सेट |
| 2 | चिमटी | लंबाई 100-120 मिमी | 1 पीसी |
| 3 | स्लॉटेड स्क्रूड्राइवर | 2*50mm, 2*125mm | 2 पीसी |
| 4 | क्रॉस स्क्रूड्राइवर | 2*125mm | 1 पीसी |
| 5 | डायाफ्राम रिमूवर | 1 पीसी | |
| 6 | सफाई रॉड | 1 पीसी | |
| 7 | फिलामेंट एडजस्टमेंट टूल | 1 पीसी | |
| 8 | फिलामेंट एडजस्टिंग गैस्केट | 3 पीसी | |
| 9 | ट्यूब एक्सट्रैक्टर | 1 पीसी | |
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