| A50.7011 आयन स्पटर कोटर | |
| निर्वात कक्ष | दीया 100 मिमी * एच 130 मिमी |
| नमूना मंच | दीया 40 एमएम (होल्ड 6 स्पेसिम कप) |
| गोल्ड स्पटरिंग लक्ष्य | दीया 58 मिमी * 0.12 मिमी (मोटाई) |
| वैक्यूम गेज | पिरानी गज़ |
| वैक्यूम पंप | रोटेशन फलक: 2 एल / एस |
| वैक्यूम प्रोटेक्शन प्वाइंट | 20Pa माइक्रोस्कोपी मुद्रास्फीति वाल्व के साथ |
| काम करने वाली गैस | आर्गन गैस या आर्गन गैस के साथ आर्गन या सूक्ष्म में हवा को नियंत्रित करने वाली गैस |
| स्पटरिंग वोल्टेज | 1.6KV |
| कुल भार | 48 किग्रा |
| अनुपालन | सीई |
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