| A63.7080सॉफ्टवेयर मुख्य कार्य | ||
| उच्च वोल्टेज एकीकृत कमीशनिंग | स्वचालित फिलामेंट चालू / बंद | संभावित शिफ्ट विनियमन |
| चमक समायोजन | विद्युत से केंद्रीय समायोजन | स्वचालित चमक |
| कंट्रास्ट समायोजन | लेंस समायोजन | ऑटो फोकस |
| आवर्धन समायोजन | वस्तुनिष्ठ डीगॉसिंग | स्वचालित रूप से अस्थिरता का उन्मूलन |
| चयनित क्षेत्र स्कैनिंग मोड | विद्युत घूर्णन समायोजन | सूक्ष्मदर्शी मापदंडों का प्रबंधन |
| बिंदु स्कैनिंग मोड | इलेक्ट्रॉन बीम विस्थापन समायोजन | स्कैनिंग क्षेत्र के आकार का वास्तविक समय प्रदर्शन |
| लाइन स्कैनिंग मोड | इलेक्ट्रॉन बीम झुकाव समायोजन | बंदूक लेंस समायोजन |
| सतह स्कैनिंग | स्कैनिंग गति समायोजन | बहु-चैनल इनपुट |
| उच्च वोल्टेज बिजली की निगरानी | स्विंग सेंटरिंग | नियम माप |
| एसईएम | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| संकल्प | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| आवर्धन | 1x~450000x,नकारात्मक वास्तविक आवर्धन | 1x~600000x, नकारात्मक वास्तविक आवर्धन | 1x~3000000x नकारात्मक वास्तविक आवर्धन |
| इलेक्ट्रॉन बंदूक | पूर्व-केंद्रित वोल्फ्रेम फिलामेंट कारतूस | शॉटकी क्षेत्र उत्सर्जन बंदूक | शॉटकी क्षेत्र उत्सर्जन बंदूक |
| वोल्टेज | त्वरण वोल्टेज 0.2 | ||