एक महत्वपूर्ण आयाम स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (सीडी-एसईएम) एक विशेष एसईएम है जिसका उपयोग अर्धचालक वेफर्स, फोटोमास्क और अन्य सामग्रियों पर छोटी विशेषताओं के आयामों को मापने के लिए किया जाता है।निर्मित इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की सटीकता और सटीकता सुनिश्चित करने के लिए ये माप महत्वपूर्ण हैं.
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