| A63.7069 सॉफ्टवेयर मुख्य कार्य | ||
| उच्च दबाव विनियमन | ऊर्ध्वाधर रेखा स्कैन | संभावित शिफ्ट विनियमन |
| फिलामेंट वर्तमान विनियमन | कंडेनसर समायोजन | मल्टीस्केल माप |
| अस्थिरता समायोजन | विद्युत से केंद्रीय समायोजन | स्वचालित चमक/विपरीत |
| चमक समायोजन | लेंस समायोजन | ऑटो फोकस |
| कंट्रास्ट समायोजन | फोटो पूर्वावलोकन | स्वचालित रूप से अस्थिरता का उन्मूलन |
| आवर्धन समायोजन | सक्रिय शासक | स्वचालित फिलामेंट समायोजन |
| चयनित क्षेत्र स्कैनिंग मोड | 4 स्कैनिंग गति सेटिंग | मापदंड प्रबंधन |
| बिंदु स्कैनिंग मोड | लेंस इन्वर्शन | छवि स्नैपशॉट, छवि फ्रीजिंग |
| सतह स्कैनिंग | कंडेनसर रिवर्स | एक महत्वपूर्ण त्वरित दृश्य |
| क्षैतिज रेखा स्कैनिंग | विद्युत घूर्णन समायोजन | |
| एसईएम | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| संकल्प | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| आवर्धन | 1x~450000x,नकारात्मक वास्तविक आवर्धन | 1x~600000x, नकारात्मक वास्तविक आवर्धन | 1x~3000000x नकारात्मक वास्तविक आवर्धन |
| इलेक्ट्रॉन बंदूक | पूर्व-केंद्रित वोल्फ्रेम फिलामेंट कारतूस | शॉटकी क्षेत्र उत्सर्जन बंदूक | शॉटकी क्षेत्र उत्सर्जन बंदूक |
| वोल्टेज | त्वरण वोल्टेज 0.2 | ||